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產(chǎn)品概述：
錦正茂高低溫真空探針臺可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持頻率上達67GHz)，探針熱沉設(shè)計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。
應(yīng)用范圍：
錦正茂高低溫真空探針臺應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機
t 機械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
技術(shù)指標：
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型號 |
T81-50探針臺 |
T80-50探針臺 |
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制冷方式 |
液氦/液氮制冷 |
閉循環(huán)制冷機 |
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腔體材質(zhì) |
無磁不銹鋼或者鋁合金 |
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真空度 |
真空上等高達10-8Pa |
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真空腔觀察窗尺寸 |
2inch（可選） |
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控溫范圍 |
4.2K-450K |
5K-450K |
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控溫分辨率 |
0.001K控溫儀相關(guān) |
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溫度穩(wěn)定性 |
0.1K控溫儀相關(guān) |
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降溫時間 |
40min |
150min內(nèi)，視制冷機功率定 |
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溫度傳感器 |
硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個） |
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加熱電源 |
LVDC 低壓直流 |
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樣品臺材質(zhì) |
鍍金無氧銅 |
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樣品臺尺寸 |
直徑20-50mm，可選100mm |
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樣品臺平整度 |
≤7μm |
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樣品臺固定方式 |
固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動） |
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樣品臺振動級別 |
≤50納米 |
≤1μm（三級減震） |
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探針臂數(shù)量 |
2個、4個、6個、8個可選 |
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探針臂機械精度 |
±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選） |
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探針種類 |
鎢、鈹銅、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針） |
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探針調(diào)節(jié) |
真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制 |
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放大倍數(shù) |
16~100X/20~4000X |
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顯微鏡行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm |
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電力需求 |
220V 50-60Hz |
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